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使用除湿干燥机要对静电有一定的了解

发布时间:2013-09-26 14:46:25
 
在使用除湿干燥机的时候最好对静电有一定了解
随着全球电子工业和生产技术的不断创新发展,生产工艺对生产环境的要求越来越高。大规模及超大规模IC
生产中的前后各工序对生产环境有了更高的要求,不仅仅要保持一定的温度、湿度、洁净度,还需要对静电
有更深的了解。
静电因素对IC封装的影响很大,科技飞速发展和工业生产高度自动化的今天,静电在电子工业生产中的
危害已是显而易见的,它可以造成各种障碍,限制自动化水平的提高和影响产品质量。这里结合在集成电路
封装、生产过程的实际情况来说明之所以有静电的产生,主要有以下几个方面原因。
1.生产车间建筑装修材料多采用高阻材料,IC生产工艺要求使用洁净车间或超净车间。要求除尘微粒粒径
从以往的0.3微米变到0.1微米以下,尘粒密度约为353个/立方,为此,除了安装各吸尘设备之外,还要采
用无机或有机不发尘材料,以防起尘,但对于建材的电性能没有作为一项指标考虑进去,工业企业洁净厂房
设计规范中也未作规定,IC工厂的洁净厂房主要采用的室内装修材料有:聚氨指弹性地面、尼纶、硬塑料、
聚乙烯、塑料壁纸、树脂、木材、白瓷板、瓷漆、石膏等等。上述材料中,大部分是高分子化合物或绝缘体。
例如,有机玻璃体电阻力为1012~1014•cm,聚乙烯体电阻率为1013~1015n•cm,因而导电性能比较
差,某种原因产生静电不容易通过它们向大地泄漏,从而造成静电的积聚。
2. 空气调节和空气净化引起的静电 ,由于IC生产要求在45-55%RH的条件下进行,所以要实行空气
调节,同时要进行空气净化。除湿和加湿的空气要经过初效过滤器、中效过滤器、高效过滤器和风管送
人洁净室。一般总风管风速为8~10m/s,风管内壁涂油漆,当干燥的空气和风管,干燥的空气和过滤
器作相对运动时,都会产生静电。应该引起注意的是静电与湿度有着较敏感的关系,空气湿度低于35%
时,空气中的微尘就会增多,静电也会产生;另外,运送半成品和IC成品在包装运输过程中都会产生静
电,这都是静电起电的因素之一。其次,静电对IC的危害是相当大的。一般来说,静电具有高电位、强
电场的特点,在静电起电-放电过程中,有时会形成瞬态大电流放电和电磁脉冲(EMP),产生频谱很宽的
电磁辐射场。另外,与常规电能量相比,静电能量比较小,在自然起电-放电过程中,静电放电(ESD)参
数是不可控制的,是一种难于重复的随机过程,因此它的作用往往被人们所忽视。尤其在微电子技术领
域,它给我们造成的危害却是惊人的,据报道每年因静电造成直接经济损失高达几亿元人民币,静电危
害以成为发展微电子工业的重大障碍。
3.人体静电洁净厂房操作人员的不同动作和来回走动,鞋底和地面不断的紧密接触和分离,人体各部分
也有活动和磨擦,不论是快走、慢走,小跑都会产生静电,即所谓步行带电;人体活动后起立,人体穿
的工作服与椅子面接触后又分离也会产生静电。人体的静电电压如果消不掉,而去接触IC芯片,就可能
在不知不觉中造成IC击穿。http://www.suliaoganzaoji.com
 
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